WLI-UNIT

Hall E/E322

Tuotekuvaus

WLI-yksikkö tarkkaan 3D-mittaukseen

Valkoisen valon interferometriyksikkö (WLI) yhdistää kosketuksettoman ja nopean optisen 3D-anturin sekä muodonmittauslaitteen edut valkoisen valon

interferometrian avulla. Interferometriteknologia mahdollistaa karheuden ja topografian mittaamisen aina nanometrin resoluutiolla. WLI-komponentit

ovat joustavia käytettäväksi erillisinä OEM-tuotteina tai yhdessä integroitaviksi tuotantoympäristöön ja erillisenä pöytämittausjärjestelmänä.

Tärkeimmät ominaisuudet

• Erittäin tarkka: kosketukseton 3D-topografia

ja pinnankarheuden mittaus.

• Vakaa: korkeustarkkuus suurennuksesta riippumatta.

• Kestävä: tärinänkestävä, kompakti ja kevyt.